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世界首台!中国自主研发冷场台式电镜震撼问世

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10月18日消息,据合肥高新发布公众号,合肥国镜仪器近日发布了其自主研发的世界首台冷场台式电镜。

据了解,冷场扫描电镜(SEM)是纳米尺度下微观检测的核心仪器,广泛应用于科研和工业检测,对新材料、新能源等产业的发展具有重要支撑作用。

冷场电镜产品

冷场电子光学技术相对于热发射和热场技术,具有高亮度、低色差等优点,然而通常也需要更高的真空要求(10^(-9)Pa)和较高的引出电压(6-8kV),目前为海外少数企业所掌握。

而国镜仪器的这台冷场电镜产品,其独特的冷场发射技术真空要求仅为10^(-7)Pa,引出电压仅需100V,极大降低了工况要求。

产品拍摄样片

此次发布的产品也是世界首台小型化冷场电镜,标志着国内冷场扫描电镜领域实现了零的突破。

据介绍,此次发布的冷场电镜产品具备超高分辨率、高亮度、小交叉斑直径、低能量色散等特性,在低加速电压下相比传统产品有更好的性能表现。

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